Tibco News, 30 Meitheamh, d'eisigh rialtas na hÍsiltíre na rialacháin is déanaí maidir le rialú onnmhairithe trealaimh leathsheoltóra, léirigh roinnt meáin é seo mar go raibh rialú na fótalitagrafaíochta i gcoinne na Síne ardaithe arís chuig gach DUV.Go deimhin, díríonn na rialacháin rialaithe onnmhairithe nua seo ar theicneolaíochtaí déantúsaíochta sliseanna chun cinn 45nm agus faoi bhun, lena n-áirítear trealamh teistíochta adamhach ALD nua-aimseartha, trealamh fáis epitaxial, trealamh sil-leagan plasma agus córais liteagrafaíocht thumoideachais, chomh maith leis an teicneolaíocht, na bogearraí a úsáidtear. ardtrealamh den sórt sin a úsáid agus a fhorbairt.
I ráiteas chuig Tibco, chuir ASML béim ar nach gclúdaíonn rialacháin rialaithe onnmhairí nua rialtas na hÍsiltíre ach cuid de na samhlacha DUV is déanaí, lena n-áirítear an TWINSCAN NXT:2000i agus córais liteagrafaíocht thumoideachais ina dhiaidh sin.Cuireadh srian ar liteagrafaíocht EUV roimhe seo, agus níl loingsiú córas eile á rialú ag rialtas na hÍsiltíre.De réir faisnéis láithreán gréasáin oifigiúil ASML, córas liteagrafaíocht tumoideachais DUV, lena n-áirítear: TWINSCAN NXT:2050i, NXT:2050i, NXT:1980Di trí mheaisín liteagrafaíocht, is féidir leo seo próiseáil wafer próiseas 38nm ~ 45nm a dhéanamh.
Ina theannta sin, ní áirítear ar liosta smachtbhannaí na hÍsiltíre meaisíní tirim liteagrafaíocht DUV atá in ann sliseog a phróiseáil os cionn 45nm, mar shampla próiseas 65nm~220nm, mar shampla TWINSCAN XT:400L, XT:1460K, NXT:870, etc..
Seo a leanas liosta rialaithe na hÍsiltíre, arna aistriú ag Tibco:
Foráiltear le Rialachán MinBuza.2023.15246-27 arna eisiúint ag an Aire Gnóthaí Eachtracha, Trádála agus Forbartha um Chomhar na hÍsiltíre do cheanglais cheadúnaithe maidir le honnmhairiú ardtrealaimh táirgthe do leathsheoltóirí nach bhfuil luaite cheana in Iarscríbhinn I de Rialachán Uimh. 2021/821 (a bhaineann le hardleathsheoltóir trealamh déantúsaíochta)
Airteagal 2: Toirmisctear leis an Rialachán seo onnmhairiú ardtrealaimh táirgthe leathsheoltóra ón Ísiltír gan cead ón Aire.
Airteagal 3:
1. Is é an t-onnmhaireoir a dhéanfaidh an t-iarratas ar an gcead dá dtagraítear in Airteagal 2 agus cuirfear faoi bhráid an ionchúisitheora é.
2. Ar aon chuma, beidh na nithe seo a leanas san iarratas:
a） ainm agus seoladh an onnmhaireora;
b） Ainm agus seoladh fhaighteoir agus úsáideoir deiridh an ardtrealaimh déantúsaíochta leathsheoltóra;
c） Ainm agus seoladh fhaighteoir agus úsáideoir deiridh an ardtrealaimh déantúsaíochta leathsheoltóra.
3, in aon chás, tá sé de cheart ag an ionchúisitheoir a iarraidh ar an onnmhaireoir an conradh a sholáthar ar an onnmhairiú, agus ráiteas ar an úsáid deiridh.
Airteagal 4:
Féadfaidh an ceadúnas a thuairiscítear in Airteagal 2 a bheith faoi réir coinníollacha agus forálacha.
Is féidir le deonú an cheadúnais a bhfuil cur síos air in Airteagal 2 cáilíochtaí a bheith ann.
Airteagal V:
Féadfar na ceadúnais a luaitear in Airteagal II a chúlghairm sna cásanna seo a leanas:
a)Eisíodh an ceadúnas bunaithe ar fhaisnéis mhícheart nó neamhiomlán;
b)Níor cloíodh le téarmaí, coinníollacha agus srianta an cheadúnais;
c)Ar chúiseanna a bhaineann le beartas náisiúnta, eachtrach agus slándála.
Am postála: Jul-02-2023